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原子级"隐藏间隙"或将打破下一代计算机芯片

SHIZO Editorial ·

MIT 与 IBM 联合研究发现,2nm 节点芯片中存在一种此前未观察到的原子级间隙,可能在量产中导致严重缺陷率上升。两家已联合 ASML 调整光刻配方。

原始来源 · SOURCES ScienceDaily
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